상세 규격 표

Cat. No.	Model	Wafer	Capa.
W01-34-303	E400-085-101-0615	6”	25
W01-34-307	E400-276-101-0615	8”	25
W01-34-311	E400-380-101-0615	12”	13

상세 규격

Model	Size (w×d×h)
E400-085-101-0615	249.8×226.1×249.3 mm
E400-276-101-0615	225×288×309 mm
E400-380-101-0615	395×230×420 mm